当前位置:首 页 > 电工维修

真空镀膜机常见故障及维修方法

时间:2021-12-31 09:03 浏览:16次 电工维修 真空镀膜机 常见 故障 维修 方法

真空镀膜机常见故障及维修方法

当镀膜机出现故障后应首先要向使用者了解故障的现象,之后要亲自开机观察故障,这样才能更准确、更快、更合理的排除故障。

排除故障应先检测低真空是否正常(机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸发室),低真空正常后再开主泵,主泵工作正常后检测下室真空中是否正常,下室真空正常再开高阀进行高真空检测检漏,直至达到工作真空,极限真空、保真空、恢复真空,如极限真空和保真空正常,而恢复真空和工作真空不正常则可能主泵有问题。

以下列举常见故障及维修方法:

一、当正在镀膜时真空度突然下降

1、蒸发源水路胶圈损环(更换胶圈)

2、坩埚被打穿(更换坩埚)

3、高压电极密封处被击穿(更换胶圈)

4、工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈)

5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)

6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)

7、机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否工作正常)

8、烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶圈)

9、挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈)

10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃)

二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空:

1、蒸发室有很多粉尘(应清冼)

2、扩散泵很久未换油(应清冼换油)

3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低(应清冼换油)

4、各动密封胶圈损坏(更换胶圈)

5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化(更换胶圈)

6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏(更换胶圈)

7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象(重新压紧)

8、高低预阀是否密封可靠(注油)

查看更多